长短寸测量设备 —— 长寸测量兼容短寸和光刻胶膜厚测量
 SOM245/10 |
 SOM255/10 |
SOM200系列长短寸测量设备配合光刻机，用于长寸测量兼容短寸和光刻胶膜厚测量。
产品特征
● 多功能测量，长寸测量同时兼容CD/Overlay测量及光刻胶膜厚测量
● 高测量精度，CD测量重复性30nm，TP测量重复性280nm，满足高分辨率光刻的测量需求
● 高测量效率，采用桥式结构，更稳定更高速
● 高效的温度控制系统
● 快速灵活的客制化服务
主要技术参数
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型号 |
SOM245/10 |
SOM255/10 |
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CD测量重复性 |
30nm@3Sigma |
30nm@3Sigma |
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CD测量复现性 |
50nm@3Sigma |
50nm@3Sigma |
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TP测量重复性 |
280nm@3Sigma |
300nm@3Sigma |
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TP测量复现性 |
400nm@3Sigma |
450nm@3Sigma |
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